概況：具有短波、中波及長(zhǎng)波激發(fā)發(fā)光，可用于分析缺陷產(chǎn)生的深度。本功能適用于擴(kuò)散后的樣品。
短波波長(zhǎng)：360nm—400nm；
中波波長(zhǎng)：520nm—560nm；
長(zhǎng)波波長(zhǎng)：650nm—850nm；
軟件功能：
1、圖像增強(qiáng)功能
獲得PL圖像之后，軟件可通過圖像增強(qiáng)算子，使缺陷區(qū)域?qū)Ρ榷忍岣�，讓一些容易被忽略的缺陷顯示更明顯。

2、缺陷區(qū)域自動(dòng)選中

軟件通過邊緣算子，可將需要缺陷區(qū)域輪廓自動(dòng)選中。